Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:33:24Z

Аннотация:

Рассмотрен новейший метод фотолитографии с применением излучения в глубоком ультрафиолетовом спектре, технология и средства его обеспечения. Рассмотрены преимущества и недостатки в сравнении с другими методами.

Тип: Article

Другие версии документа

Фотолитография в глубоком ультрафиолете