Способ контроля механических напряжений в полупроводниковой пластине

Лабунов, В. А.; Квасов, Н. Т.; Полонин, А. К.; Корешков, Г. А.; Прохоренко, Н. Л.; Карпов, В. Е.

Способ контроля механических напряжений в полупроводниковой пластине

Лабунов, В. А., Квасов, Н. Т., Полонин, А. К., Корешков, Г. А., Прохоренко, Н. Л., Карпов, В. Е.

Дата публикации: 1984

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:36:15Z

Аннотация:

Изобретение относится к измерительной технике и неразрушающему контролю физико-механических характеристик твердого тела и может быть использовано для определения механических напряжений, концентрации дефектов и глубины залегания примеси, внедряемой в полупроводниковую пластину.

Ключевые слова:
патенты, измерительная техника, полупроводниковые пластины

Тип: Other

Способ контроля механических напряжений в полупроводниковой пластине

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация