Исполнительные элементы МЭМС на основе композиционных интеллектуальных материалов с матрицами из пористых и вертикальных наноструктур

Плескачевский, Ю. М.; Горох, Г. Г.; Казаченко, В. П.; Плиговка, А. Н.; Шалько, С. В.; Таратын, И. А.; Хатько, В. В.

Исполнительные элементы МЭМС на основе композиционных интеллектуальных материалов с матрицами из пористых и вертикальных наноструктур

Плескачевский, Ю. М., Горох, Г. Г., Казаченко, В. П., Плиговка, А. Н., Шалько, С. В., Таратын, И. А., Хатько, В. В.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:36:35Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований структуры и морфологических особенностей тонких пленок на основе полимерных форм C60, синтезированных методом электронно-лучевого осаждения на поверхностях нанопористого анодного оксида алюминия. Установлено влияние структурных характеристик анодного оксида на шероховатость полимеризованного покрытия C60.

Ключевые слова:
публикации ученых, пористый анодный оксид алюминия, микроэлектромеханические преобразователи, функциональные материалы, полимерные покрытия

Тип: Article

Исполнительные элементы МЭМС на основе композиционных интеллектуальных материалов с матрицами из пористых и вертикальных наноструктур

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация