Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда

Ковалевский, А. А.; Котов, Д. А.; Корзун, К. А.; Ясюнас, А. А.; Гранько, С. В.

Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда

Ковалевский, А. А., Котов, Д. А., Корзун, К. А., Ясюнас, А. А., Гранько, С. В.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:38:08Z

Аннотация:

Исследованы кинетика роста и оптические свойства алмазоподобных углеродных (DLC) покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда. Установлено, что основными факторами, влияющими на скорость осаждения и оптические свойства наноструктурированных алмазоподобных покрытий в высокоплотной плазме индукционного разряда, являются: тип прекурсоров, качество исходной подложки, общее давление газовой смеси, парциальное давление каждого из прекурсоров и величина подводимой к разряду ВЧ-мощности.

Ключевые слова:
публикации ученых, алмазоподобные углеродные покрытия, ВЧ-мощности

Тип: Статья