Закономерности формирования микроструктуры тонких пленок сплавов алюминия на стеклянных подложках

Ташлыкова-Бушкевич, И. И.; Столяр, И. А.

Закономерности формирования микроструктуры тонких пленок сплавов алюминия на стеклянных подложках

Ташлыкова-Бушкевич, И. И., Столяр, И. А.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:42:05Z

Аннотация:

Пленки Al и его бинарных слаболегированных сплавов с хромом, марганцем, железом и никелем, осажденные на стекло с использованием резонансного ионного источника вакуумной электродуговой плазмы, были исследованы на атомно-силовом микроскопе в контактном режиме и микроскопе марки с приставкой "HKL CHANNEL5" в режиме регистрации обратно отраженных электронов. Полученные результаты демонстрируют потенциальные возможности применения методов ионного ассистирования для создания тонких пленок сплавов алюминия в качестве лицевых контактов тонкопленочных солнечных элементов для повышения эффективности современных преобразователей солнечной энергии.

Ключевые слова:
публикации ученых, ионно-ассистированное осаждение, сканирующая зондовая микроскопия, ионно-лучевое осаждение, тонкие пленки

Тип: Article