Материалов:
1 005 021

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Ионно-лучевые технологии как средство анализа топологии интегральной микросхемы (ИМС)

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:42:30Z

Аннотация:

Современные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность решения не только задач избирательного препарирования ИМС, но и дают доступ к ранее невозможным операциям ремонта и модификации сложных объектов посредством локальной реконструкции.

Тип: Статья


Связанные документы (рекомендация CORE)