Устройство для контроля подложки микросхемы, преимущественно при анодировании в ванне с электролитом

Суходольский, А. М.

Устройство для контроля подложки микросхемы, преимущественно при анодировании в ванне с электролитом

Дата публикации: 1981

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:44:16Z

Аннотация:

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности, к технологии создания активных и пассивных тонкопленочных элементов, построенных на основе тонких диэлектрических пленок.

Ключевые слова:
патенты, микроэлектроника, тонкие пленки, диэлектрические пленки

Тип: Other