Способ управления нанесением металлических пленок

Лабунов, В. А.; Сокол, В. А.; Можухов, А. А.

Способ управления нанесением металлических пленок

Лабунов, В. А., Сокол, В. А., Можухов, А. А.

Дата публикации: 1978

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:45:48Z

Аннотация:

Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к технологии изготовления гибридных интегральных схем и может быть использовано при создании проводящих и резистивных пленок.

Ключевые слова:
патенты, микроэлектроника, интегральные схемы, проводящие пленки

Тип: Other

Способ управления нанесением металлических пленок

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация