Анализ методов синтеза аморфных функциональных слоев на основе ZnO для устройств прозрачной электроники

Abduev A.Kh.; Asvarov A.Sh.; Akhmedov A.K.; Murliev E.K.

Анализ методов синтеза аморфных функциональных слоев на основе ZnO для устройств прозрачной электроники

Abduev A.Kh., Asvarov A.Sh., Akhmedov A.K., Murliev E.K.

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T14:58:53Z

Аннотация:

Проанализированы процессы магнетронного синтеза нанокристаллических и аморфных слоев на основе оксида цинка. Изучено влияние легирующих компонентов и уровня легирования на степень аморфизации слоев. Рассмотрено влияние водорода в составе атмосферы на структурное совершенство синтезируемых слоев. Показана зависимость структуры слоев ZnO-SnO₂ от соотношения компонентов в распыляемых мишенях. Обсуждены механизмы формирования аморфных слоев на основе ZnO при магнетронных методах синтеза.