Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Исследование процессов движения эмиссионного потока при магнетронном распылении в переменном магнитном поле

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:36:02Z

Тип: Научный доклад (Working Paper)


Связанные документы (рекомендация CORE)