Дата публикации: 2010

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T18:02:00Z

Аннотация:

Методами реактивного катодного распыления в устройстве на основе низковольтного пеннинговского разряда получены диэлектрические пленки окиси и нитрида кремния, нитрида алюминия и другие. Изучены параметры пленок в МДМ-структурах, оптические свойства, пористость в зависимости от скорости осаждения, температуры подложки и давления реактивного газа. Наибольшую электрическую прочность имели пленки нитрида кремния, а наименьшие потери – пленки двуокиси кремния.

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2010. Т. 53, № 4. С. 8-11