Создана компьютерная программа для моделирования процесса внедрения ионного пучка в металлы. Представлены результаты моделирования. Сделаны выводы о пригодности использованной модели для описания процессов ионно-плазменного легирования.
Работа выполнена в рамках реализации ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы.
