Модифицирование оксидом олова газочувствительных слоев из оксида индия для повышения эффективности газовых сенсоров

Реутская, О. Г.; Денисюк, С. В.; Куданович, О. Н.; Мухуров, Н. И.; Таратын, И. А.; Лугин, Валерий Геннадьевич

Модифицирование оксидом олова газочувствительных слоев из оксида индия для повышения эффективности газовых сенсоров

Реутская, О. Г., Денисюк, С. В., Куданович, О. Н., Мухуров, Н. И., Таратын, И. А., Лугин, Валерий Геннадьевич

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-04-15T10:42:03Z

Аннотация:

Целью настоящей работы являлось исследование методик формирования и элементного состава пленок оксида индия, модифицированных оксидом олова, на поверхности тонкопленочных элементов газовых сенсоров, как одних из перспективных соединений для повышения эффективности детектирования взрывоопасных и токсичных газов в окружающей среде.

Ключевые слова:
газовый сенсор, оксид индия, оксид олова, нихром, анодный оксид алюминия

Тип: Article

Модифицирование оксидом олова газочувствительных слоев из оксида индия для повышения эффективности газовых сенсоров

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация