Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда

Поплавский, Василий Владимирович; Бобрович, Олег Георгиевич; Дорожко, Александр Валентинович; Матыс, Владимир Генрихович

Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда

Поплавский, Василий Владимирович, Бобрович, Олег Георгиевич, Дорожко, Александр Валентинович, Матыс, Владимир Генрихович

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-04-15T10:43:01Z

Аннотация:

При ионно-ассистируемом осаждении металлов из плазмы вакуумного дугового разряда на поверхность вентильных металлов (Al, Ti, Ta) получены многокомпонентные аморфные слои толщиной ~30–50 нм, включающие атомы осажденных металлов, компоненты материала подложки, включая кислород поверхностной оксидной пленки, а также молекулы углеводородов в качестве примесей. Причем значительные количества газов включаются в состав формируемых слоев при осаждении металлов, обладающих геттерными свойствами. Процесс формирования слоев отличается одностадийностью, экономичностью и позволяет повышать коррозионную устойчивость и обеспечивать каталитическую активность материалов.

Ключевые слова:
алюминиевые сплавы, алюминий, вентильные металлы, защита от коррозии, ионно-ассистируемое осаждение, коррозионная стойкость, легирование поверхности, тантал, титан, осаждение металлов, энергодисперсионный анализ

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация