Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-04-15T11:23:31Z

Аннотация:

Целью исследования является разработка методов контролируемого формирования тонких пленок сложных оксидов реактивным магнетронным распылением составных мишеней, методов контроля и управления их составом, электрофизическими свойствами, которые определяют возможность использования данного класса пленок в качестве диэлектрических слоев современных МОП интегральных схем.

Тип: Thesis