С помощью компьютерного моделирования исследованы спектрально-зарядовые свойства гетероструктуры пленки диоксида титана (TiO 2 ) n-типа проводимости толщиной 100 нм на кремниевой
подложке p-типа проводимости в диапазоне 300—1200 нм солнечного излучения. Учтено наличие
ловушечных состояний в пленке TiO 2 , способствующих локализации носителей заряда. Моделирование проводилось с использованием модели Андерсона для полупроводниковых гетеропереходов, решения уравнения Пуассона, уравнений непрерывности для электронов и дырок и уравнений Максвелла
для электромагнитных волн в программном пакете Comsol Multyphysics. Рассчитаны распределение
скоростей генерации и концентрации носителей заряда в гетероструктуре, распределение плотности заряда и электрического потенциала от длины волны
падающего на пленку TiO 2 солнечного
излучения, а также от энергии ловушечных состояний E t , которая задавалась внутри запрещенной
зоны, считая от дна зоны проводимости. Интегральная плотность солнечного излучения 1 кВт/м 2
принималась одинаковой для всех длин волн. Выявлены немонотонные зависимости скорости генерации носителей заряда в TiO 2 в области
= 325—375 нм. Установлено, что для относительно мелких
ловушек (E t = 0.2—0.3 эВ) в объеме пленки TiO 2 формируется положительный заряд с плотностью
1.6 мКл/см 3 , слабо зависящий от длины волны. С ростом энергии ловушек объемная плотность заряда в пленке TiO 2 снижается и меняет знак, достигая –3.4 мКл/см 3 при E t = 0.8 эВ и
= 900 нм.
Плотность поверхностного заряда на пленке TiO 2 отрицательная, ее величина возрастает с ростом
энергии ловушек E t и длины волны излучения, достигая –2.8 · 10 -4 мкКл/см 2 при E t = 0.8 эВ и
= 900 нм.
Полученные результаты объясняются взаимосвязью процессов интерференции в TiO 2 падающей и
отраженной от границы раздела волн, разделением генерированных солнечным светом носителей
заряда на этой границе, а также локализацией электронов на поверхностных состояниях TiO 2 .