Дата публикации в реестре: 2024-04-15T12:00:03Z

Аннотация:

Приведен краткий обзор некоторых методов исследования субмикронных объектов. Основное внимание уделено неразрушающим методам оптического (лазерного) контроля микрообъектов.

Тип: Article

Источник: Вестник Российского университета дружбы народов. Серия: Экология и безопасность жизнедеятельности