Элементный состав поверхности стали Ст40Х, модифицированной ионно-ассистированным осаждением тонких пленок на основе Al, Ti, Cr, W

Тульев, Валентин Валентинович; Амбражей, Н. Н.

Элементный состав поверхности стали Ст40Х, модифицированной ионно-ассистированным осаждением тонких пленок на основе Al, Ti, Cr, W

Тульев, Валентин Валентинович, Амбражей, Н. Н.

Дата публикации: 2004

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T13:07:17Z

Аннотация:

На сталь Ст40Х наносились покрытия на основе Al, Ti, Cr, W методом ионно-ассистированного осаждения в условиях саморадиации. Энергия ассистирующих ионов составляла 15 кэВ при интегральных потоках 1-1016—1•1017 ион/см'2. С помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием проводился послойный элементный анализ полученных структур. Установлено, что в сформированные структуры входят, кроме атомов, основы покрытия Me (10—30 ат.%), атомы кислорода (10—30 ат.%), углерода (5—10 ат.%) и атомов материала подложки железа (20-30 ат.%). Обсуждены причины, приводящие к формированию сложного композиционного состава структур покрытие/Ст40Х.

Ключевые слова:
ионно-ассистированное осаждение, ионно-лучевое модифицирование, механические свойства, осаждение тонких пленок, электрохимические свойства, модифицирование материалов

Тип: Article