Структура систем Ti-Mo-N, Zr-Mo-N, полученных методом ионно-­плазменного осаждения

Гольцев, В. П.; Чаевский, Вадим Витальевич

Структура систем Ti-Mo-N, Zr-Mo-N, полученных методом ионно-плазменного осаждения

Гольцев, В. П., Чаевский, Вадим Витальевич

Дата публикации: 2005

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T13:07:56Z

Аннотация:

Статья посвящена двойным нитридным системам Ti-Mo-N, Zr-Mo-N, синтезированным в виде покрытий методом совмещения плазменных потоков. Установлены оптимальные параметры плазмы, обеспечивающие синтез нитридов с регулируемым соотношением компонентов. Определено, что структура системы Ti- Mo-N представляет собой непрерывный ряд твердых растворов нитридов TixMo2(i-x)N. Существование твердых растворов нитридов ZrxMoi_xN в системе Zr-Mo-N ограничено, при содержании 55-69 ат.% Мо наблюдается смесь твердых растворов нитридов на базе нитрида циркония ZrxMo]_xN и ГЦК нитрида молибдена (ZryMoi_y)2N.

Ключевые слова:
ионно-плазменное осаждение, методы химического осаждения, двойные нитридные системы, плазменные потоки, нитридные системы, физические процессы

Тип: Article