Атомное перемешивание структур Pd/Fe и Cu/Al пучками ускоренных ионов Ar+,Kr+,Xе+

Тульев, Валентин Валентинович

Атомное перемешивание структур Pd/Fe и Cu/Al пучками ускоренных ионов Ar+,Kr+,Xе+

Дата публикации: 2003

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T13:09:21Z

Аннотация:

В работе исследовались состав и распределение компонентов по глубине Pd/Fe и Си/Al структур, полученных атомным перемешиванием исходных структур ионами Аг+, Кг+, Хе+ с энергиями 20, 30 кэВ и интегральными потоками от 2-1015 см'2 до ЗТО16 см'2. Анализ полученных структур проводился методом Резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием. Установлено, что при атомном перемешивании Pd/Fe и Си/А! структур, помимо процесса перемешивания в каскаде атомных столкновений, происходят процессы радиационно-стимулированной диффузии и распыления поверхности. Определены наиболее оптимальные режимы атомного перемешивания данных структуры.

Ключевые слова:
атомное перемешивание, компьютерное моделирование, ионные пучки, ускоренные ионы, электронно-лучевой метод

Тип: Article