Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T13:58:28Z

Аннотация:

Устройства на основе микроэлектромеханических систем находят широкое применение в приборах для передачи и защиты информации. Благодаря своим механическим и прочностным характеристика анодный оксид алюминия является подходящим материалом для изготовления активных и чувствительных элементов в исполнительных устройствах. Для проектирования устройств на основе анодного оксида алюминия с заданной чувствительностью необходимо заранее знать его механические свойства, в частности модуль Юнга, которые в значительной степени определяются условиями формирования оксида.

Тип: Article