Электрофизические свойства тонких пленок системы Ge–Sb–Te для устройств фазовой памяти

Лазаренко, Петр Иванович; Козюхин, Сергей Александрович; Шерченков, Алексей Анатольевич; Бабич, Алексей Вальтерович; Тимошенков, Сергей Петрович 1957-; Громов, Дмитрий Геннадьевич; Заболотская, Анастасия Владимировна; Козик, Владимир Васильевич

Электрофизические свойства тонких пленок системы Ge–Sb–Te для устройств фазовой памяти

Лазаренко, Петр Иванович, Козюхин, Сергей Александрович, Шерченков, Алексей Анатольевич, Бабич, Алексей Вальтерович, Тимошенков, Сергей Петрович 1957-, Громов, Дмитрий Геннадьевич, Заболотская, Анастасия Владимировна, Козик, Владимир Васильевич

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:12:55Z

Аннотация:

Исследованы температурные зависимости удельного сопротивления и вольт-амперных характеристик аморфных тонких пленок на основе материалов системы Ge–Sb–Te составов GeSb₄Te₇ (GST147), GeSb₂Te₄ (GST124), Ge₂Sb₂Te₅ (GST225), применяемых в устройствах фазовой памяти. Определено влияние изменения состава тонких пленок на температуру кристаллизации, удельные сопротивления в аморфном и кристаллическом состояниях и энергию активации проводимости. Выявлено, что особенностью данных материалов является механизм двухканальной проводимости, при котором вклад в электропроводность вносят носители, возбужденные в локализованные состояния в хвостах зон, и носители в распространенных состояниях валентной зоны.

Ключевые слова:
фазовая память, температурные зависимости удельного сопротивления, вольт-амперные характеристики, энергетические диаграммы

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2016. Т. 59, № 9. С. 80-86