Рассматривается диффузия примесных атомов в кристалле, содержащем ловушки. Временная зависимость потока примесей на границе при определенных условиях может иметь форму пика. Получены формулы, связывающие временную координату пика с частотами скачков диффундирующего атома, а также асимптотические выражения для начального и конечного временных участков потока и количества выделяющихся примесей. Полученные формулы можно использовать для определения параметров диффузионной кинетики по временной зависимости скорости газовыделения.
