Представлены результаты 2D-моделирования KrF-лазера. В модели учитывались неоднородность распределения электрического поля и концентраций частиц плазмы. Показано, что с уровня концентрации электронов ~ 10^14 см^(–3) скорость их рождения становится зависимой от концентрации ne. Это изменяет распределение концентрации ne по ширине разряда. Если оценивать ширину разряда по концентрации электронов на полувысоте, то, в зависимости от режима накачки, к концу импульса генерации ширина разряда уменьшается в 10 и более раз. Кроме того, показано, что ширина лазерного пучка больше ширины профиля концентрации электронов на полувысоте.
