Методами химического травления, оптической и атомно-силовой микроскопией исследовано влияние облучения низкоэнергетическими электронами на изменение механизмов деформации и разрушения в кристаллах LiF. Обнаружено формирование на поверхности кристаллов тонких слоев с высокой нанотвердостью.