Влияние низкоинтенсивного бета-облучения на фазовые превращения в кремнии при микроиндентировании

Головин, Юрий Иванович; Дмитриевский, Александр Александрович; Шуклинов, Алексей Васильевич; Косырев, Петр Алексеевич; Ловцов, Антон Романович

Влияние низкоинтенсивного бета-облучения на фазовые превращения в кремнии при микроиндентировании

Головин, Юрий Иванович, Дмитриевский, Александр Александрович, Шуклинов, Алексей Васильевич, Косырев, Петр Алексеевич, Ловцов, Антон Романович

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:18:15Z

Аннотация:

С использованием метода рамановской спектроскопии исследована морфология фазового состава кремния внутри отпечатка индентора с пространственным разрешением ~ 200 нм. Обнаружено подавление эффективности образования фаз Si-XII, Si-III и a-Si, индуцируемое облучением бета-частицами от источника 90^Sr + 90^Y (флюенс F = 3,6⋅10^10 cм^(–2)).

Ключевые слова:
кремний, бета-облучение, индентирование, фазовые превращения

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2011. Т. 54, № 8. С. 73-76