Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения

Савостиков, Виктор Михайлович; Потекаев, Александр Иванович; Табаченко, Анатолий Никитович

Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения

Савостиков, Виктор Михайлович, Потекаев, Александр Иванович, Табаченко, Анатолий Никитович

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:18:15Z

Аннотация:

На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенератора с накаливаемым катодом, дуомагнетрона с двумя распыляемыми мишенями и двумя электродуговыми испарителями. Расширение функциональных возможностей обеспечивается применением оригинальных многоэлементных и многофазных катодных мишеней в виде соединений по типу боридов, карбидов, силицидов, сульфидов металлов, изготавливаемых СВС-методом с одновременным компактированием. Изменение состава, структуры и физико-механических свойств по сечению градиентно-слоистых поверхностных слоев и покрытий обеспечивается целенаправленным изменением очередности распыляемых катодных мишеней плазменных источников, соотношением интенсивностей плазменных рабочих потоков и варьированием энергии прибывающих на подложку частиц, определяемой значением ускоряющего потенциала на подложке.

Ключевые слова:
градиентно-слоистые покрытия, ионно-диффузионное насыщение, магнетронное и вакуумно-дуговое осаждения

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2011. Т. 54, № 7. С. 26-34