Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W

Просолов, Константин Александрович; Ластовка, Владимир Викторович; Толмачев, Алексей Иванович; Химич, Маргарита Андреевна; Сулиз, Константин Владимирович; Казанцев, Сергей Олегович; Ложкомоев, Александр Сергеевич; Шаркеев, Юрий Петрович

Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W

Просолов, Константин Александрович, Ластовка, Владимир Викторович, Толмачев, Алексей Иванович, Химич, Маргарита Андреевна, Сулиз, Константин Владимирович, Казанцев, Сергей Олегович, Ложкомоев, Александр Сергеевич, Шаркеев, Юрий Петрович

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:20:36Z

Аннотация:

Исследован метод синтеза мишеней из порошковых смесей Cu–W, полученных методом электровзрыва. Рассмотрены оптимальные параметры процесса и структурно-фазовый состав полученных мишеней. Основными фазами являются Cu и W с рефлексами фазы Cu2WO4 в мишени с меньшим содержанием W. Показана эрозия мишеней при ВЧ-распылении и изменение формы кластеров в покрытии при увеличении мощности. Ранее исследования в этой области не уделяли должного внимания синтезу мишеней с высоким содержанием W и влиянию параметров процесса на качество получаемых покрытий.

Ключевые слова:
высокочастотное магнетронное распыление, несмешивающиеся металлы, функциональные покрытия, электровзрыв, нанопорошки

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 12. С. 79-85