Применение тангенциального магнитного поля и импульсно-периодического потенциала смещения для подавления медных макрочастиц вакуумной дуги

Рябчиков, Александр Ильич; Ананьин, Петр Семенович; Шевелев, Алексей Эдуардович

Применение тангенциального магнитного поля и импульсно-периодического потенциала смещения для подавления медных макрочастиц вакуумной дуги

Рябчиков, Александр Ильич, Ананьин, Петр Семенович, Шевелев, Алексей Эдуардович

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:20:53Z

Аннотация:

Изучено влияние нормального и тангенциального к поверхности катода магнитных полей и короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения отрицательной полярности на накопление макрочастиц на потенциальной мишени, погруженной в медную вакуумно-дуговую плазму. Показано, что использование ваку- умно-дугового испарителя с тангенциальным к поверхности катода магнитным полем уменьшает генерацию медных макрочастиц в 5 раз по сравнению с аксиально-симметричным вакуумно-дуговым испарителем, в котором используется нормальное к рабочей поверхности катода магнитное поле. Установлено, что совместное действие тангенциального поля и короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения обеспечивает возможность снижения плотности медных макрочастиц на поверхности мишени на 2–3 порядка.

Ключевые слова:
металлическая плазма, микрокапельная фракция, высокочастотный короткоимпульсный отрицательный потенциал смещения, вакуумно-дуговой разряд

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2016. Т. 59, № 6. С. 125-130