Компьютерное моделирование процессов заряжения поверхности и приповерхностных слоев диоксида кремния при электронной бомбардировке

Кортов, Всеволод Семенович; Звонарев, Сергей Владимирович; Спиридонова, Татьяна Владимировна

Компьютерное моделирование процессов заряжения поверхности и приповерхностных слоев диоксида кремния при электронной бомбардировке

Кортов, Всеволод Семенович, Звонарев, Сергей Владимирович, Спиридонова, Татьяна Владимировна

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:21:15Z

Аннотация:

Описана физическая модель и программа расчета параметров заряжения диэлектриков при электронной бомбардировке. Методом компьютерного моделирования изучены основные процессы заряжения приповерхностных слоев диоксида кремния. Рассчитаны зависимости плотности тока, объемной плотности заряда и напряженности электрического поля от глубины слоя материала при варьировании параметров электронного пучка, длительности облучения и потенциала на сетке вблизи поверхности образца.

Ключевые слова:
компьютерное моделирование, заряжение поверхности, электронная бомбардировка

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2011. Т. 54, № 3. С. 25-31