Нанодисперсный порошок получен плазменным методом на установке на основе дугового плазматрона из природного высококремнеземистого сырья – диатомита. Состав и структура полученного материала исследованы методами просвечивающей электронной микроскопии, энергодисперсионного анализа, инфракрасной и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, БЭТ-анализа. Полученные наночастицы SiO₂ сферической формы обладают полидисперсностью в интервале от 10 до 300 нм и представлены в виде агломератов. Удельная поверхность порошка 32 м²/г. Термодинамическим моделированием плазменного процесса получения нанопорошка в интервале температур 300–5000 К установлены равновесные составы конденсированных и газообразных продуктов реакций.