Мишени для магнетронного распыления, формируемые золь-гель методом и параметры тонких плёнок, получаемых на их основе

Аль-Камали, М. Ф. С. Х.; Алексеенко, А. А.

Мишени для магнетронного распыления, формируемые золь-гель методом и параметры тонких плёнок, получаемых на их основе

Аль-Камали, М. Ф. С. Х., Алексеенко, А. А.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:54:19Z

Аннотация:

В настоящей работе показана возможность формирования с применением золь-гель метода мишеней состава SiO2:CuO. Изучены особенности получения мишеней на основе аэросила марки А-300 и их последующего функционального применения. Приводятся данные по морфологии структуры высококремнеземных пленок, сформированных магнетронным распылением таких мишеней на поверхности полированных кремниевых подложек.

Ключевые слова:
Золь-гель метод, Тонкие пленки, Высококремнеземные пленки, Магнетронное распыление

Тип: Article

Мишени для магнетронного распыления, формируемые золь-гель методом и параметры тонких плёнок, получаемых на их основе

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация