Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-08-05T14:58:14Z

Аннотация:

Предложен способ формирования титан-углеродных покрытий из сепарированных потоков импульсной плазмы, формируемой испарением композиционного металл-углеродного катода и последующей сепарацией плазменного потока. Установлено пространственное распределение ионов в потоке углеродной плазмы на выходе из плазменного фильтра с открытой геометрией, расположенного внутри вакуумной камеры и выполненного в виде части тора, позволяющего повернуть поток плазмы на 90 градусов, что позволило установить зависимость толщины осаждаемых покрытий толщины от расстояния от оси потока.

Тип: Article