Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-10-01T14:18:14Z

Аннотация:

Проведено исследование влияния режимов синтеза на механические характеристики тонкопленочных покрытий на основе меди. Установлено, что покрытия имели высокую адгезию к кремнию. Коэффициент трения снижался при увеличении потенциала диафрагмы, давления парциального давления кислорода и температуры подложки.

Тип: Article