Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-10-01T14:19:05Z

Аннотация:

Проведено исследование влияния добавки кислорода к рабочему газу и температуры подложки на оптическое пропускание и электрофизические характеристики покрытий из боросиликатного стекла. Установлено, что добавка кислорода позволила повысить пропускание до 92 % даже при относительно невысокой температуре подложки.

Тип: Article