Материалов:
1 005 021

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Силициды тугоплавких металлов для тонкопленочных барьерных структур

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-10-01T14:20:19Z

Аннотация:

Исследованы процессы образования контактных слоёв на кремнии бинарными сплавами никеля и ванадия. Установлены температуры образования силицидов при разных соотношениях металлов. Проведено сравнение контактных слоёв на основе системы никель-кремний и никель-ванадий-кремний.

Тип: Article


Связанные документы (рекомендация CORE)