Дата публикации в реестре: 2024-10-01T16:18:35Z

Аннотация:

Предложен и исследован усовершенствованный оптоэлектронный датчик малых линейных перемещений на основе дифракции лазерного пучка на двух фазовых дифракционных решетках. Показана возможность удвоения области линейности при регистрации сигналов в двух первых дифракционных порядках. На основе этого датчика сконструирован макет измерителя неровностей поверхности и проведены эксперименты по измерению профилей поверхности рельефных структур.

Тип: Article

Источник: Автометрия