Зондовые электрометрические методы для измерения удельного электрического сопротивления ионно-легированных и диффузионных слоев
Тявловский, А. К.,
Воробей, Р. И.,
Гусев, О. К.,
Жарин, А. Л.,
Пантелеев, К. В.,
Петлицкий, А. Н.,
Пилипенко, В. А.,
Свистун, А. И.,
Тявловский, К. Л.
Связанные документы (рекомендация CORE)