Дата публикации в реестре: 2024-10-01T17:46:47Z

Аннотация:

В работе были проведены абсолютные измерения концентрации электронов (ne) в плазме ЭЦР-разряда в области умеренных давлений методами оптической эмиссионной спектроскопии (ОЭС). Изучено поведение концентрации плазмы разряда от давления и вкладываемой в разряд мощности СВЧ.

Тип: Article

Источник: LI All-Russia conference on problems in dynamics, particle physics, plasma physics and optoelectronics. Moscow, Russia, 12-15 May 2015 г.