Исследование распределения СВЧ мощности в плазмотроне резонаторного типаИсследование распределения
СВЧ мощности в плазмотроне резонаторного типа
Особенности электрических режимов возбуждения разряда комбинированными (СВЧ и НЧ) полямиПроведённые исследования заключались в изучении влияния
СВЧ разряда на электрические режимы
Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластинПредставлены результаты исследований процесса
СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с