Термомеханические биморфные актюаторыТермомеханические биморфные
актюаторы Пьезоэлектрические актюаторы в микроэлектромеханических системахПьезоэлектрические
актюаторы в микроэлектромеханических системах
МЭМС-актюаторы на основе пьезоэлектрических пленокМЭМС-
актюаторы на основе пьезоэлектрических пленок
Термомеханические биморфные актюаторы с электрическим нагревомТермомеханические биморфные
актюаторы с электрическим нагревом
Термомеханические биморфные актюаторы на основе полиимида-нитрида кремнияТермомеханические биморфные
актюаторы на основе полиимида-нитрида кремния
Влияние сил Ван-дер-Ваальса и Казимира на электростатические крутильные актюаторыВлияние сил Ван-дер-Ваальса и Казимира на электростатические крутильные
актюаторы Современные электрохимические технологии и оборудование электрохимические материалы и оборудование". В представленных материалах отражены современные тенденции