Влияние кристаллографической ориентации кремниевых пластин на механизм их анодированияГревцов, Н. Л.,
Клименко, А. В.,
Гурбо, А. Д.,
Бондаренко, В. П.,
Grevtsov, N. L.,
Klimenka, A. V.,
Hurbo, A. D.,
Bondarenko, V. P. причине
травление подложек с ориентацией (111) происходит медленнее. Полученные результаты позволяют
Катодно-вакуумное травление урана на установке ВУП-2ККатодно-вакуумное
травление урана на установке ВУП-2К
Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремнияСелективное плазмохимическое
травление нитрида кремния к диоксиду кремния
Электрохимическое полирование титана в глицериновых растворах минеральных кислотЭлектрохимическое полирование титана в глицериновых растворах минеральных кислот
Микротопливные элементы на основе пористого кремнияПроцесс изготовления макропористых слоев кремния имеет ряд особенностей:
электрохимическое