Феноменологическая модель травления металлического покрытия в плазме газовой смесиЕмельянов, В.В.,
Купо, А.Н.,
Емельянов, В.А.,
Emelyanov, V.V.,
Kupo, A.N.,
Emelyanov, V.A. = 150–250 мТорр и плотности мощности плазмы W = 1,6–2,2 Вт/см². =
A phenomenological model of plasma