Simulation of RF plasma flowing at low pressure - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Simulation of RF plasma flowing at low pressure

Zheltukhin V., Shemakhin A.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-02-29T23:16:14Z

Аннотация:

Ключевые слова:
jet flow, low pressure, Monte-Carlo method, radio-frequency plasma, simulation, statistical simulation, transient mode

Тип: Article

Источник: SCOPUS20700482-2014-6-1-SID84925970675

Другие версии документа

Simulation of RF plasma flowing at low pressure

Связанные документы (рекомендация CORE)