Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Mathematical modelling of RF plasma flow at low pressures with 3D electromagnetic field

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T02:06:59Z

Аннотация:

Тип: Article

Источник: SCOPUS16878434-2019-2019-SID85060819884


Связанные документы (рекомендация CORE)