Analysis of problem in mathematical model for shadowed sputtering - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Analysis of problem in mathematical model for shadowed sputtering

Sevastianov L.A., Zhidkov E.P.

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T14:39:39Z

Аннотация:

Ключевые слова:
Functions, Geometrical optics, Integral equations, Inverse problems, Mathematical models, Mathematical operators, Probability, Problem solving, Shadowed sputtering, Sputtering

Тип: Article

Права: open access

Источник: Computer Physics Communications

Связанные документы (рекомендация CORE)