Дата публикации: 04.03.2015

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:24:16Z

Аннотация:

Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием определено, что при осаждении Pd-покрытия на железо методом динамического атомного перемешивания, в котором в качестве ассистирующих ионов использовались ионы Аr+ с энергией 6 кэВ, и интегральными потоками (0,7?1,6)?1016 ион/cм2 формируется Pd-пленка толщиной ?(14?23) нм. Установлено, что толщина сформированного покрытия зависит от параметра I / A (отношение числа I ассистирующих ионов к числу A атомов осаждаемого покрытия). При расчете толщины пленки необходимо учитывать помимо распыления ассистирующими ионами атомов покрытия также распыление атомов подложки.