Реактивное осаждение электропроводящих пленок нитрида титана - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Реактивное осаждение электропроводящих пленок нитрида титана

Юрьев, Юрий Николаевич, Михневич, Ксения Сергеевна, Бордулев, Юрий Сергеевич, Киселева, Дарья Васильевна, Новиков, Вадим Александрович, Сиделев, Дмитрий Владимирович

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:40:36Z

Ключевые слова:
нитрид титана, реактивное осаждение, дуальный магнетрон

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 11/2. С. 165-169

Связанные документы (рекомендация CORE)