Энергетический расчет опытно-промышленной установки по получению нитрида титанаРассчитан баланс тепловой энергии при получении нитрида
титана путем взаимодействия паров ТiСl[4] с
О состоянии хлора в нитриде титана нитрид и тетрахлорид
титана. Предложен механизм образования нитрида
титана в процессе его выделения из
Получение пленок нитрида титана методом магнетронного распыленияВ статье была разработана технология нанесения пленок нитрида
титана (TiN) методом реактивного
Исследование стойкости покрытий на стекле и керамике, полученных методом ионного декорированияПриведены результаты исследований по осаждению пленок из нитрида
титана, нитрида ниобия, хрома
Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишениНестерчик, Р. И.,
То, К. Т.,
Голосов, Д. А.,
Бурдовицин, В. А.,
Завадский, С. М.,
Мельников, С. Н. В работе исследованы вопросы формирования пленок нитрида
титана-циркония реактивным магнетронным