Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-31T23:32:51Z

Аннотация:

Учебно-методическое пособие для лабораторных работ [для студентов спец. 223200.68 «Техническая физика»].

Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.

В учебно-методическом пособии описаны краткие теоретические сведения по способам получения и измерения вакуума, способам осаждения пленок. В лабораторной работе изучается метод термовакуумной сублимации на примере осаждения тонкой композитной пленки фуллерит-бор на модернизированной установке ВУП-5. Предназначено для студентов специальности 223200.68 «Техническая физика».

Тип: Book